Informace o projektu
Depozice tenkých vrstev v dielektrických bariérových výbojích za atmosférického tlaku

Kód projektu

GA202/06/1473

Období řešení

1/2006 - 12/2008

Investor / Programový rámec / typ projektu

Grantová agentura ČR

Standardní projekty

Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

prof. RNDr. David Trunec, CSc.

Klíčová slova

depozice, tenké vrstvy, bariérové výboje

Cílem projektu je studium depozice tenkých vrstev v dielektrických bariérových výbojích hořících za atmosférického
tlaku. Pro depozice budou zvoleny takové typy výboje, které produkují homogenní plazma, aby rovněž deponované
vrstvy byly homogenní. Budou studovány možnosti depozice tenkých vrstev se specifickými vlastnostmi, např. vysoká tvrdost a otěruvzdornost vrstev atd. Vlastnosti výbojů budou charakterizovány pomocí elektrických měření a optické emisní spektroskopie. Připravené tenké vrstvy budou zkoumány různými diagnostickými metodami – morfologie povrchu bude studována pomocí AFM a SEM, chemické složení vrstev pomocí XPS a RBS, dále bude měřena mikrotvrdost, modul pružnosti vrstev a povrchová energie vrstev.

Publikace

Počet publikací: 20

2009

The transition between different modes of barrier discharges at atmospheric pressure

BRANDENBURG Ronny NAVRÁTIL Zdeněk JÁNSKÝ Jaroslav SŤAHEL Pavel TRUNEC David WAGNER Hans-Erich

Článek v odborném periodiku

Journal of Physics D: Applied Physics, rok: 2009, ročník: 42, vydání: 8

2008

DEPOSITION OF THIN FILMS IN ATMOSPHERIC PRESSURE GLOW DISCHARGE IN N2 + HMDSO + O2 ATMOSPHERE

STUDNIČKA Filip TRUNEC David SŤAHEL Pavel BURŠÍKOVÁ Vilma KELAR Lukáš

Článek v odborném periodiku

Chemické Listy, II Central European Symposium on Plasma Chemistry 2008, rok: 2008, ročník: 1, vydání: 16
DEPOSITION OF THIN FILMS IN ATMOSPHERIC PRESSURE HOMOGENEOUS DISCHARGE

TRUNEC David ŠÍRA Martin SŤAHEL Pavel BURŠÍKOVÁ Vilma

Článek ve sborníku

Proccedings of HAKONE X, rok: 2008
DEPOSITION OF THIN FILMS IN ATMOSPHERIC PRESSURE HOMOGENOUS DISCHARGE IN N2 + HMDSO + O2 ATMOSPHEREIN N2 + HMDSO + O2 ATMOSPHERE

STUDNIČKA Filip TRUNEC David SŤAHEL Pavel BURŠÍKOVÁ Vilma KELAR Lukáš

Článek v odborném periodiku

Chemické Listy, II Central European Symposium on Plasma Chemistry 2008, rok: 2008, ročník: 1, vydání: 16
NUMERICAL SIMULATION OF ATMOSPHERIC PRESSURE TOWNSEND DISCHARGES IN NITROGEN WITH HYDROGEN GAS ADMIXTURES

JÁNSKÝ Jaroslav TRUNEC David NAVRÁTIL Zdeněk BRANDENBURG Ronny WAGNER Hans-Erich

Článek ve sborníku

Proccedings of HAKONE X, rok: 2008
Radial Structure of RF Discharge in Neon

NAVRÁTIL Zdeněk TRUNEC David DVOŘÁK Pavel

Článek ve sborníku

2nd Central European Symposium on Plasma Chemistry - Book of Extended Abstracts, rok: 2008

2007

Collisional radiative model of neon discharge: determination of E/N in the positive column of low pressure discharge

NAVRÁTIL Zdeněk TRUNEC David HRACHOVÁ Věra KAŇKA Adolf

Článek v odborném periodiku

Journal of Physics D: Applied Physics, rok: 2007, ročník: 40, vydání: 4
Deposition and analysis of thin films produced in atmospheric pressure glow discharge

ŠÍRA Martin BURŠÍKOVÁ Vilma FRANTA Daniel TRUNEC David

Článek ve sborníku

Proceedings of XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases, rok: 2007
Deposition of thin films on glass substrate in atmospheric pressure glow discharge

ŠÍRA Martin BURŠÍKOVÁ Vilma TRUNEC David

Článek ve sborníku

Book of Contributed Papers of The 3rd Seminar on New Trends in Plasma Physics and Solid State Physics, rok: 2007
Determination of electron temperature in neon RF discharge by means of collisional-radiative model

NAVRÁTIL Zdeněk SCHMIDT J BRZOBOHATÝ Oto ŠIMEK J TRUNEC David PEKÁREK S ŠMÍD Radek PRUKNER V LAZAR Lukáš

Článek ve sborníku

Proceedings of ICPIG XXVIII, rok: 2007