Informace o projektu
Realizace laboratorního digitálního spektrofotometru pro širokou spektrální oblast
- Kód projektu
- GA101/04/2131
- Období řešení
- 1/2004 - 12/2006
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Standardní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
- Přírodovědecká fakulta
- Klíčová slova
- digitální spektrofotometr, konstrukce laboratorního vzoru, neuniformní tenké vrstvy, plošné rozdělení indexu lomu vrstev, plošné rozdělení tlouštěk tenkých vrstev, odrazivost neuniformních tenkých vrstev, propustnost neuniformních tenkých vrstev
- Spolupracující organizace
-
Vysoké učení technické v Brně
- Odpovědná osoba prof. RNDr. Miloslav Ohlídal, CSc.
Podstatou navrhovaného projektu je návrh a realizace laboratorního vzoru dvoukanálového digitálního spektrofotometru umožňujícího v ultrafialové a viditelné oblasti spektra měřit ex situ průběh optických konstant a tloušťky nehomogenních tenkých vrstevna velké ploše. Jako zářivý zdroj bude použit mnochromátor s XE výbojkou, jehož výstupní svazek bude rozdělen dvěma za sebou zařazenými křemennými děliči do dvou kanálů. V prvním z nich bude umístěn měřený vzorek (vrstva), referenční vzorek,CCD kamera azrc adlo zobrazující povrch vzorku na čip CCD kamery. Ve druhém kanálu pak bude umístěn vzorek referenční a pomocný detektor (např. fotonásobič). Obraz povrchu sejmutý CCD kamerou bude zpracován v počítači. V popsaném uspořádání bude možné měřitspektrální zá vislosti relativní odrazivosti (propustnosti)studované vrstvy odpovídající jednotlivým pixelům CCD kamery, tj. odpovídající jednotlivým bodům (malým oblastem) ve střední rovině studovaného povrchu.
Publikace
Počet publikací: 4
2005
-
Měření mechanického napětí v tenkých vrstvách pomocí kombinované optické metody
Jemná mechanika a optika, rok: 2005, ročník: 50, vydání: 3
-
Optical characterization of non-uniform thin films using imaging spectrophotometry
Advances in Optical Thin Films II, rok: 2005
-
Optical measurement of mechanical stresses in diamond-like carbon films
8-th International Symposium on Laser Metrology, rok: 2005
2004
-
Mechanical stresses studied by optical methods in diamond-like carbon films containing Si and O
SPIE's 49th Annual Meeting, rok: 2004