Informace o projektu
Aplikace sondových a hmotově-spektrometrických metod pro studium elementárních procesů v nízkoteplotním a technologicky orientovaném plazmatu
- Kód projektu
- GA202/00/1689
- Období řešení
- 1/2000 - 1/2002
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Standardní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
- Přírodovědecká fakulta
- Spolupracující organizace
-
Univerzita Karlova
- Odpovědná osoba prof. RNDr. Milan Tichý, DrSc.
Bude dále experimentálně i teoreticky rozvinuta metoda Langmuirovy sondy s cílem interpretovat data ze sondových měření i ve složitějších podmínkách plazmochemických reaktorů. Předpokládá se využití výsledků předchozího grantu GAČR a pokračování ve studiu rozdělovací funkce elektronů se směrovým rozlišením v plazmatu magnetronu a srovnání s teoretickým modelem. Modelovat se bude rovněž pohyb nabitých částic v doutnavém výboji v systému válcového magnetronu s cílem hlouběji porozumět procesům probíhajícím v technologicky orientovaných plazmochemických systémech. Dále se bude rozvíjet teorie sondy za středních tlaků v řádu jednotek kPa, zejména pomocí Monte Carlo a particle-in-cell modelů, a jejich srovnáním s experimentem s cílem vypracovat metodiku na měření koncentrace kladných a záporných iontů pomocí sondy za těchto podmínek. K interpretaci sondových dat významně přispěje znalost zastoupení jednotlivých iontů ve studovaném plazmatu, změřená pomocí hmotového spektrometru.
Publikace
Počet publikací: 1
2002
-
Monte Carlo simulations of the influence of ion-neutral collisions on the ion currents collected by electrostatic probes
CONTRIBUTIONS TO PLASMA PHYSICS, rok: 2002, ročník: 42, vydání: 1