Informace o projektu
Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích
- Kód projektu
- GA202/07/1669
- Období řešení
- 1/2007 - 12/2011
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Standardní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
-
Přírodovědecká fakulta
- doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.
- Mgr. Oto Brzobohatý, Ph.D.
- doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.
- Mgr. Daniel Franta, Ph.D.
- prof. RNDr. Josef Havel, DrSc.
- prof. RNDr. Jan Janča, DrSc.
- prof. RNDr. Vladislav Navrátil, CSc.
- doc. Mgr. Zdeněk Navrátil, Ph.D.
- prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc.
- doc. Mgr. Pavel Sťahel, Ph.D.
- prof. RNDr. David Trunec, CSc.
- doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.
- Klíčová slova
- PECVD, dvojfrekvenční kapacitní výboj DF CCP, nanostrukturovaný DLC, thermomechanická stabilita
- Spolupracující organizace
-
Ústav jaderné fyziky AV ČR, v. v. i.
- Odpovědná osoba RNDr. Vratislav Peřina, CSc.
- Odpovědná osoba Ing. Jaroslav Sobota, CSc.
- Odpovědná osoba Mgr. Petr Klapetek, Ph.D.
Podstatou navrhovaného projektu je vyvinout depoziční systém pro přípravu termálně stabilních nanostrukturovaných diamantu podobných uhlíkových vrstev s využitím dvojfrekvenčního kapacitního plazmatu (DFCCP). Kombinací vysokofrekvenčního buzení, které zajišťuje stabilitu a vysokou hustotu plazmatu, a nízkofrekvenčního buzení, kterým lze nezávisle kontrolovat energii iontů, chceme dosáhnout kontrolovaného růstu vrstev. Předmětem studia bude nalezení optimální kombinace vysokofrekvenčního a nízkofrekvenčního (kontinuálního nebo pulzního) buzení umožňujíci rovnoměrně pokrýt nerovné, stupňovité povrchy substrátů i podstatné snížení vnitřního pnutí ve vrstvách. Je plánovaná komplexní diagnostika DFCCP i počítačová simulace pro popis a pochopení procesů probíhajících se během depozice. Připravené vrstvy budou rozsáhle charakterizovány jak z hlediska jejich struktury (RBS, ERDA, TOF ERDA, HRTEM, SEM atd.) tak i z hlediska jejich vlastností (např. ellipsometrie, spektrofotometrie, mikro- a nanovtiskové testy). Termální stabilita vrstev bude studována metodou termální desorpční spektroskopie.
Publikace
Počet publikací: 70
2012
-
Laser ablation synthesis of new gold phosphides using red phosphorus and nanogold as precursors. Laser desorption ionisation time-of-flight mass spectrometry
Rapid Communications in Mass Spectrometry, rok: 2012, ročník: 26, vydání: 9, DOI
-
PROPERTIES OF MODIFIED AMORPHOUS CARBON THIN FILMS DEPOSITED BY PECVD
Chem. listy, rok: 2012, ročník: 106/2012, vydání: 106
2011
-
Application of higher harmonic frequencies generated in RF plasmas for monitoring of deposition processes
Rok: 2011, druh: Konferenční abstrakty
-
Combination of Synchrotron Ellipsometry and Table-Top Optical Measurements for Determination of Band Structure of DLC Films
Thin Solid Films, rok: 2011, ročník: 519, vydání: 9, DOI
-
Dielectric response and structure of amorphous hydrogenated carbon films with nitrogen admixture
Thin Solid Films, rok: 2011, ročník: 519, vydání: 13, DOI
-
Evaluation of hardness, tribological behaviour and impact load of carbon-based hard composite coatings exposed to the influence of humidity
Diamond and Related Materials, rok: 2011, ročník: 20, vydání: 4, DOI
-
Formation of aluminium, aluminium nitride and nitrogen clusters via laser ablation of nano aluminium nitride. Laser desorption ionisation and matrixassisted laser desorption ionisation timeofflight mass spectrometry
Rapid Communications in Mass Spectrometry, rok: 2011, ročník: 25, vydání: 12, DOI
-
Higher harmonic frequencies in capacitive discharges and their using for monitoring of plasma processing
Rok: 2011, druh: Konferenční abstrakty
-
Influence of DLC films on higher harmonic frequencies in capacitive discharges
Rok: 2011, druh: Konferenční abstrakty
-
Measurement of Mechanical Properties of Composite Materials
CHEMICKÉ LISTY, rok: 2011, ročník: 105, vydání: CHLSAC 105