Informace o projektu
Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích
- Kód projektu
- GA202/07/1669
- Období řešení
- 1/2007 - 12/2011
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Standardní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
-
Přírodovědecká fakulta
- doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.
- Mgr. Oto Brzobohatý, Ph.D.
- doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.
- Mgr. Daniel Franta, Ph.D.
- prof. RNDr. Josef Havel, DrSc.
- prof. RNDr. Jan Janča, DrSc.
- prof. RNDr. Vladislav Navrátil, CSc.
- doc. Mgr. Zdeněk Navrátil, Ph.D.
- prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc.
- doc. Mgr. Pavel Sťahel, Ph.D.
- prof. RNDr. David Trunec, CSc.
- doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.
- Klíčová slova
- PECVD, dvojfrekvenční kapacitní výboj DF CCP, nanostrukturovaný DLC, thermomechanická stabilita
- Spolupracující organizace
-
Ústav jaderné fyziky AV ČR, v. v. i.
- Odpovědná osoba RNDr. Vratislav Peřina, CSc.
- Odpovědná osoba Ing. Jaroslav Sobota, CSc.
- Odpovědná osoba Mgr. Petr Klapetek, Ph.D.
Podstatou navrhovaného projektu je vyvinout depoziční systém pro přípravu termálně stabilních nanostrukturovaných diamantu podobných uhlíkových vrstev s využitím dvojfrekvenčního kapacitního plazmatu (DFCCP). Kombinací vysokofrekvenčního buzení, které zajišťuje stabilitu a vysokou hustotu plazmatu, a nízkofrekvenčního buzení, kterým lze nezávisle kontrolovat energii iontů, chceme dosáhnout kontrolovaného růstu vrstev. Předmětem studia bude nalezení optimální kombinace vysokofrekvenčního a nízkofrekvenčního (kontinuálního nebo pulzního) buzení umožňujíci rovnoměrně pokrýt nerovné, stupňovité povrchy substrátů i podstatné snížení vnitřního pnutí ve vrstvách. Je plánovaná komplexní diagnostika DFCCP i počítačová simulace pro popis a pochopení procesů probíhajících se během depozice. Připravené vrstvy budou rozsáhle charakterizovány jak z hlediska jejich struktury (RBS, ERDA, TOF ERDA, HRTEM, SEM atd.) tak i z hlediska jejich vlastností (např. ellipsometrie, spektrofotometrie, mikro- a nanovtiskové testy). Termální stabilita vrstev bude studována metodou termální desorpční spektroskopie.
Publikace
Počet publikací: 70
2008
-
Modeling of optical constants of diamond-like carbon
Diamond and Related Materials, rok: 2008, ročník: 17, vydání: 1
-
Nanoindentation studies on amorphous carbon films prepared using plasma enchanced chemical vapor deposition
Rok: 2008, druh: Konferenční abstrakty
-
Optical characterization of diamond-like carbon thin films non-uniform in thickness using spectroscopic reflectometry
Diamond and Related Materials, rok: 2008, ročník: 17, vydání: 1
-
Optimisation of mechanical properties of plasma deposited graded multilayer diamond-like carbon coatings
Journal of Optoelectronics and Advanced Materials, rok: 2008, ročník: 10/2008, vydání: 12
-
Optimization of the performance of graded amorphous carbon coatings to steel substrates using PECVD
Rok: 2008, druh: Konferenční abstrakty
-
Preparation and characterisation of carbon films prepared from HMDSZ/methane/nitrogen or hydrogen mixture using PECVD
CESPC II - Book of extended abstracts, rok: 2008
-
Preparation and characterisation of carbon films prepared from HMDSZ/Methane/Nitrogen or Hydrogen mixture using PECVD
Rok: 2008, druh: Konferenční abstrakty
-
Relationship between the nanoindentation response of amorphous carbon thin films and the depth profile of their structure
International Balkan Workshop on Applied Physics - Book of abstracts, rok: 2008
-
Soustava s ultrahydrofobními vlastnostmi, stavební a přírodní zábavný a/nebo relaxační element
Vydavatel: UPVCR, stát vydání: Česká republika, číslo patentu: PV 2008-290, rok: 2008
-
STUDIUL PROPRIETĂŢILOR MECANICE ALE STRATURILOR SUBŢIRI DE CARBON TIP DIMOND-LIKE OBŢINUTE PRIN DIFERITE METODE DE DEPUNERE
SIMPOZIONUL NATIONAL AL TINERILOR CERCETATORI IN DOMENIUL INGINERIEI MATERIALELOR, ROMAT JUNIOR 2008, rok: 2008